T/ICMTIA SM0028-2022 集成电路用电子级多晶硅
T/ICMTIA SM0028-2022 Electronic-grade polycrystalline silicon for integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA SM0028-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 江苏鑫华半导体材料科技有限公司、有研半导体硅材料股份公司、上海新昇半导体科技有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司、中环领先半导体材料有限公司
- 起草人：
- 田新、赵培芝、万首正、曹孜、赵而敬、冯天、陈强、兰洵、赵玉风、由佰玲
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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