1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/ICMTIA SM0028-2022

T/ICMTIA SM0028-2022 集成电路用电子级多晶硅

T/ICMTIA SM0028-2022 Electronic-grade polycrystalline silicon for integrated circuits

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA SM0028-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
江苏鑫华半导体材料科技有限公司、有研半导体硅材料股份公司、上海新昇半导体科技有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司、中环领先半导体材料有限公司
起草人：
田新、赵培芝、万首正、曹孜、赵而敬、冯天、陈强、兰洵、赵玉风、由佰玲
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>