JJF 1062-2022 电离真空计校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1062—2022

电离真空计校准规范

CalibrationSpecificationforIonizationVacuumGauges

2022-04-29发布2022-10-29实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1062—2022

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

术语

3.1…………………(1)

计量单位

3.2……………(1)

概述

4……………………(2)

计量特性

5………………(2)

校准条件

6………………(2)

环境条件

6.1……………(2)

计量标准及其他设备

6.2………………(2)

校准项目和校准方法

7…………………(3)

校准项目

7.1……………(3)

校准方法

7.2……………(3)

数据处理

7.3……………(5)

校准结果表达

8…………(6)

复校时间间隔

9…………(6)

附录电离真空计校准记录格式

A……………………(7)

附录电离真空计校准证书内页格式

B………………(8)

附录电离真空计测量结果的不确定度评定示例

C…………………(9)

Ⅰ

JJF1062—2022

引言

国家计量校准规范编写规则通用计量术语及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定义测量不确定度评定与表示和真空技

》、JJF1059.1—2012《》GB/T3163—2007《

术术语共同构成本规范制定的基础性系列规范

》。

本规范参考了热阴极电离真空计真空

JB/T7463—2005《》、GB/T34873—2017《

计与标准真空计直接比较校准真空技术真空计与标准真

》、GB/T34876—2017《

空计直接比较校准结果的不确定度评定采用了其中的基本原则对具体方法和技术

》,,

指标进行了细化补充和修改

、。

本规范代替电离真空计及二等标准电离真空

JJF1062—1999《》JJG462—2004《

计

》。

与和相比除编辑性修改外主要技术变化如下

JJF1062—1999JJG462—2004,,:

删除规管常数和电路的电参数检测部分

———;

删除压力示值误差超差判据

———;

原规范中要求标准装置校准室的本底压力不大于被校真空计压力下限测量点压

———

力值的本次修订将该数值修改为见和

2%,10%(7.2.2.17.2.2.2);

增加不确定度评定方法见附录

———(C)。

本规范的历次版本发布情况为

:

———JJG462—2004;JJF1062—1999。

Ⅱ

JJF1062—2022

电离真空计校准规范

1范围

本规范适用于测量范围在-92的电离真空计校准

1×10Pa~1×10Pa。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

真空技术术语

GB/T3163—2007

真空技术图形符号

GB/T3164—2007

真空计与标准真空计直接比较校准

GB/T34873—2017

真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确

GB/T34876—2017

定度评定

热阴极电离真空计

JB/T7463—2005

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和计量单位

术语

3.1

真空计

3.1.1vacuumgauge

测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器

。

定义

[GB/T3163—2007,4.1.2]

规管

3.1.2gaugehead

某些种类的真空计中包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件

,。

电离真空计

3.1.3ionizationvacuumgauge

通过测量气体在控制条件下电离产生的离子流来确定分子密度进而测得压力的一

,

种真空计

。

校准室

3.1.4calibrationchamber

标准装置中用于安装被校准仪器的真空室

。

本底压力

3.1.5basepressure

在校准气体进入校准室之前或校准后进气阀关断若干时间后校准室内的压力

,,。

定义

[ISO3567:2011(E),3.17]

修正因子

3.1.6correctionfactor

为补偿系统误差而与未修正测量结果相乘的数字因子

。

定义的注

[JJF1001—2011,5.73]

计量单位

3.2

电离真空计所测量的压力使用的计量单位为帕斯卡

(Pa)。

1

JJF1062—2022

4概述

电离真空计是基于在一定条件下待测气体的密度与气体电离产生的离子流成正比关

系的原理制作的真空测量仪器

。

电离真空计通常由规管和显示仪表组成

。

规管按照电离电子源的不同可以分为发射阴极型规管和交叉场型规管气体分子被

。

电离所生成的正离子数与气体分子数密度成正比当温度不变时气体分子被电离所生

;,

成的正离子数与气体压力成正比

。

电离真空计规管的计量特性与气体种类有关实际校准工作中通常以氮气为校准

。

气体

。

5计量特性

修正因子通常在之间年变化量通常不超过

,0.9~1.1,10%。

6校准条件

环境条件

6.1

校准的温度为校准过程中环境温度波动度不超过实验室

6.1.1(18~28)℃,,1℃,

内不应有明显的气体流动

。

相对湿度不大于

6.1.280%。

校准设备周围应无影响测量的热源强电磁场等外界干扰周围应无明显的

6.1.3、,

振动

。

计量标准及其他设备

6.2

真空标准装置

6.2.1

标准装置通常为比较法真空标准装置或动态流导法真空标准装置或静态膨胀法真空

标准装置用于提供已知的压力量值其指标如表所示压力范围和不确定度能够满

,,1。

足客户校准要求的其他标准装置也适用

。

2

JJF1062—2022

表1标准装置

序号装置名称技术要求

测量范围-92

:1×10Pa~1×10Pa

不确定度Uk

:r=20%~5%(=2)

标准真空计推荐为磁悬浮转子真空计电离真空计电容薄膜真空计

:、、。

装置的校准室需满足如下条件