GB/T 19892.3-2022 批控制 第3部分：通用和现场处方模型及表述

ICS25.040

CCSN10

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT19892.32022IEC61512-32008

:

批控制第部分通用和现场处方

3

模型及表述

—:

BatchcontrolPart3Generalandsitereciemodelsandreresentation

pp

(:,)

IEC61512-32008IDT

2022-10-12发布2023-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT19892.32022IEC61512-32008

目次

前言…………………………Ⅶ

引言…………………………Ⅷ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

、………………………

3术语定义和缩略语1

3.1术语和定义…………………………1

3.2缩略语………………2

4处方描述…………………2

4.1处方类型……………2

4.2通用和现场处方描述………………2

4.2.1制造信息………………………2

4.2.2多现场定义……………………2

4.2.3处方类型层级的扩展和压缩…………………3

4.3独立于装置的处方…………………3

4.3.1独立于装置的处方子类型……………………3

4.3.2独立于装置的处方活动………………………3

4.3.3试验或试生产的输入…………3

4.3.4试验或试生产的输出…………4

4.3.5独立于装置的处方控制………………………5

4.3.6独立于装置的处方定义………………………5

4.3.7独立于装置的处方变体………………………5

4.3.8调度信息的来源………………5

4.3.9独立于装置的处方和商业信息………………5

4.3.10用于能力比较的独立于装置的处方…………6

4.3.11作为设施设计规范的独立于装置的处方……………………6

4.4通用处方……………6

4.4.1企业范围定义…………………6

4.4.2通用处方的目的………………7

4.4.3通用处方信息…………………7

4.5现场处方……………7

4.5.1现场特定处方…………………7

4.5.2现场处方定义…………………8

4.5.3现场处方政策…………………8

4.6产品族和产品等级…………………8

4.6.1产品定义………………………8

4.6.2产品族…………………………8

4.6.3产品等级………………………9

Ⅰ

/—/:

GBT19892.32022IEC61512-32008

5独立于装置的处方内容…………………9

5.1处方信息……………9

5.2处方生命周期状态…………………9

5.3处方头………………9

5.4处方公式……………9

5.5处方进程……………9

5.5.1过程模型………………………9

5.5.2过程层级………………………10

5.5.3制造的理想进程………………10

5.5.4过程段…………………………10

5.5.5过程操作………………………10

5.5.6过程动作………………………11

5.5.7装置要求的定义………………11

5.5.8过程段指南……………………11

5.5.9过程操作指南…………………12

5.5.10过程动作指南………………12

5.5.11过程动作类型………………13

5.6装置要求……………16

5.6.1最终制造装置的要求…………16

5.6.2装置选择………………………16

5.6.3约束目标装置…………………16

5.6.4管理装置要求定义……………16

5.7其他信息……………16

5.8生命周期状态………………………17

6独立于装置的处方的对象模型…………17

6.1概述…………………17

6.2建模技术……………17

6.3对象模型……………17

6.4对象关系……………18

6.5对象模型元素………………………19

6.5.1属性……………19

6.5.2独立于装置的处方……………19

6.5.3装置要求………………………19

6.5.4装置要求元素…………………19

6.5.5装置要求库……………………19

6.5.6通用处方………………………19

6.5.7材料定义………………………19

6.5.8材料定义库……………………20

6.5.9其他信息………………………20

6.5.10百分比输入…………………20

6.5.11百分比输出…………………20

6.5.12过程程序……………………20

Ⅱ

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GBT19892.32022IEC61512-32008

6.5.13过程动作……………………20

6.5.14过程元素……………………20

6.5.15过程元素库…………………20

6.5.16过程元素链接………………20

6.5.17过程元素规范………………20

6.5.18过程输入……………………20

6.5.19过程操