GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
GB/T 26249-2010 Gases for electronic industry—Hydrogen selenide
国家标准
中文简体
现行
页数：11页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 26249-2010
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：H2Se。
相对分子质量：80.975 88（按2007年国际相对原子质量计算）。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：H2Se。
相对分子质量：80.975 88（按2007年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
2011年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司
- 起草人：
- 周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵
- 出版信息：
- 页数：11页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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电子工业用气体硒化氢
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２０１１０１１４发布２０１１０５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜２６２４９２０１０
前言
本标准的附录和附录为规范性附录。附录为资料性附录。
ＡＢＣ
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（／）提出。
ＳＡＣＴＣ２０３
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（／／）归口。
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