T/CAEE 067-2026 光刻胶去除工艺技术成熟度评价规范
T/CAEE 067-2026 Evaluation specification for maturity of photoresist removal process technology
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CAEE 067-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-05-27
实施日期
2026-05-27
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子装备技术开发协会
适用范围
-
发布历史
-
2026年05月
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研制信息
- 起草单位：
- 河北凯诺中星科技有限公司、北京中研华采技术服务有限公司、北京六只猫创意科技有限公司、北京骏宇汽车有限公司、北京彬诚科技有限公司
- 起草人：
- 孙凤霞、乐志斌、杨笛、朱军、夏卫彬
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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