GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范

GB/T 17865-1999 Specification for measuring depth of focus and best focus

国家标准 中文简体 现行 页数:9页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 17865-1999
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
由SEMI中国标准化技术委员会
适用范围
-

发布历史

研制信息

起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
出版信息:
页数:9页 | 字数:15 千字 | 开本: 大16开

内容描述

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