GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 20176-2006 Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
国家标准
中文简体
现行
页数：19页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 20176-2006
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2006-03-27
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束标准化技术委员会
适用范围
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×10 16 atoms/cm 3~1×10 20 atoms/cm3。
发布历史
-
2006年03月
-
2025年06月
研制信息
- 起草单位：
- 清华大学电子工程系
- 起草人：
- 查良镇、陈旭、黄雁华、王光普、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
- 出版信息：
- 页数：19页 | 字数：32 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB44/T 1884-2016 电动两轮平衡车通用技术条件 2016-09-08
- DB44/T 1838-2016 地理标志产品 文口鲤 2016-05-17
- DB44/T 1863-2016 甘蔗条螟性诱测报技术规范 2016-09-08
- DB44/T 1882-2016 STM型免漆门 2016-09-08
- DB44/T 1859-2016 地理标志产品 马水桔 2016-09-08
- DB44/T 1883-2016 木复合门 2016-09-08
- DB44/T 1864-2016 番木瓜采后保鲜处理技术 2016-09-08
- DB13/T 2383-2016 小型离网太阳能发电系统通用技术要求 2016-08-15
- DB44/T 1877-2016 无机高性能纤维复合材料电力支架 2016-09-08
- DB13/T 2384-2016 变速恒频风力发电机组通用技术要求 2016-08-15