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GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

GB/T 42896-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

国家标准 中文简体 现行 页数：11页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 42896-2023
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微型组件
国际标准分类号（ICS）
31.200 集成电路、微电子学
发布日期
2023-08-06
实施日期
2023-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。

发布历史

文前页预览

GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-第1页
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-第2页
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-第3页
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-第4页

研制信息

起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、宁波芯健半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司
起草人：
张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、王旭峰、李凤阳、高程武、于志恒、陈艺、华璇卿、刘若冰、张彦秀、罗书明、武斌、张启心、张宾
出版信息：
页数：11页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS31.200

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—

GBT428962023

微机电系统()技术

MEMS

硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

()—

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo

ygy

ImacttestmethodfornanostructuresofsiliconbasedMEMS

p

2023-08-06发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT428962023

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4要求………………………2

5试验方法…………………4

()………

附录资料性原位片上冲击试验机尺寸建议

A

定制服务

    推荐标准

    关联标准

    引用标准
    GB/T 2900.28
    GB/T 2900.28-2007 电工术语 电动工具
    现行
    GB/T 2900.28-1994 电工术语 电动工具
    被代替
    GB/T 26111
    GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语
    现行
    GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
    被代替
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