T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
T/QGCML 4572-2024 The production and manufacturing specifications for high-precision, ultra-clean wafer clamps
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4572-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-08-12
实施日期
2024-08-27
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造
发布历史
-
2024年08月
研制信息
- 起草单位：
- 常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
- 起草人：
- 罗中平、雷超、赵鹏志
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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