适用范围：本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。

适用范围：本标准规定了焦炉气制甲烷生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输。本标准适用于新建、扩建和改建的焦炉气制甲烷生产装置。

适用范围：本标准规定了混合气体气瓶充装站的术语和定义、基本条件、人员要求、设备设施及技术要求、混合气体气瓶充装、应急管理、包装、标志及贮运。本标准适用于配制气气混合、液液混合气体的气瓶充装。其他特殊用途的混合气体的气瓶充装可参照本标准进行。

适用范围：本标准规定了气瓶集束装置充装的基本原则和安全技术要求。本标准适用于使用环境温度为-40 ℃～60 ℃、总水容积小于或等于3 000 L、介质为压缩气体、高压液化气体和混合气体（气气混合气体）的气瓶集束装置的充装。本标准不适用于介质为液液混合气体、毒性程度为有毒或剧毒气体的集束装置的充装，也不适用于充装高压液化气体（可燃）、固定在车上使用的集束装置的充装。

适用范围：本标准规定了小型燃料电池车用低压储氢装置（以下简称：低压储氢装置)安全的试验条件和试验方法。本标准适用于内容积不大于3 L、最高温升压力不大于25 MPa、工作温度不低于-40 ℃且不高于65 ℃的小型燃料电池车用低压储氢装置。

适用范围：本标准规定了二氧化碳制甲醇生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输。本标准适用于新建、扩建和改建的二氧化碳制甲醇生产装置。

适用范围：本标准规定了二氧化碳制甲醇的通用要求、生产安全、甲醇产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的二氧化碳制甲醇工程项目。

适用范围：本标准规定了黄磷尾气制甲酸的通用要求、生产安全、甲酸产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的黄磷尾气制甲酸工程项目。

适用范围：本标准规定了焦炉气制甲烷的通用要求、生产安全、甲烷产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的焦炉气制甲烷工程项目。

适用范围：本标准规定了黄磷尾气制甲酸生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输等技术要求。本标准适用于新建、扩建和改建的黄磷尾气制甲酸生产装置。

适用范围：本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。分子式：CHF3。相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量)。

适用范围：本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。

适用范围：本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。  它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。分子式：SiH4。相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。

适用范围：本标准规定了丙烯的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全的内容。本标准适用于以工业丙烯为原料，采用吸附、精馏方法提纯制备的电子工业用丙烯。它主要用于半导体技术领域。分子式：C3H6。相对分子质量：42.081（按2011年国际相对原子质量）。

适用范围：本标准确定了采用带火焰光度检测器（FPD）的气相色谱仪测定煤基合成气中硫化氢、羰基硫、甲硫醇、甲硫醚的方法提要、试剂和材料、仪器、采样、测定步骤、结果计算、精密度、试验报告。本标准适用于煤基合成气中硫化氢浓度不低于0.08 mg/m3、羰基硫浓度不低于0.12 mg/m3、甲硫醇浓度不低于0.08 mg/m3、甲硫醚浓度不低于0.07 mg/m3的测定。

适用范围：本标准规定了痕量分析用气体的深度纯化技术。经纯化后气体的目标组分含量的体积分数低于0.01×10-6，压力为0.1 MPa～18 MPa，流量为0.1 L/min～100 L/min。 本标准适用于仪表校准用零点气、气相色谱分析所用的载气和标准气体的平衡气。本标准适用的气体为氧气、氢气、氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气。

适用范围：本标准规定了采用电化学法测定气体中微量氧的方法,包括燃料电池法、赫兹电池法、氧化锆浓差电池法、离子流法、原电池法等，对仪器、校准、试验步骤、结果处理和试验报告等提出了要求。  本标准适用于不与化学电池发生化学反应且不干扰测定的气体。测定范围：0.01×10-6（体积分数）～1 000×10-6（体积分数）。

适用范围：GB/T 5832的本部分规定了采用露点法测定气体中微量水分的方法。 本部分适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪、氙、氧化亚氮等气体及其混合气体中微量水分的测定。不适用于在水分冷凝前就冷凝的气体以及能与水分发生反应的气体。本部分适用于0 ℃～-100 ℃气体露点的测定。