适用范围：本文件界定了在线自动测量系统(AMS)的术语、定义以及符号和缩略语，给出了AMS的简介，描述了AMS的选择方法，确立了AMS的性能特征和判断标准、质量保证和质量控制程序以及测定报告应包含的内容。 本文件适用于气体中一氧化碳(CO)含量、二氧化碳(CO2)含量和氧气(O2)含量测定的抽取式和原位式(非抽取式)AMS。

适用范围：本文件规定了高纯二氧化碳的技术指标、检验规则、采样、标志、包装、储运、充装及安全警示的要求，描述了高纯二氧化碳的试验方法。 本文件适用于以工业二氧化碳、工业尾气、食品添加剂液体二氧化碳为原料经纯化制备的、纯度大于或等于99.99%(摩尔分数)的二氧化碳。

适用范围：本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

适用范围：本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。

适用范围：本文件定义了表述混合气体组成的常用量： ——摩尔分数； ——质量分数； ——体积分数； 和 ——摩尔浓度； ——质量浓度； ——体积浓度。 对于这些组成量，本文件给出方法进行： ——不同量之间的换算；和 ——不同状态条件之间的换算。 不同量之间的换算是指由混合气体中某组分一种量的含量数值，计算出相同压力和温度条件下该组分另一种量的含量数值，这些量均为以上列出的量。不同状态之间的换算是指通过某组分在一种状态下（即温度和压力），由上述任一量的含量数值计算出另一种状态下该组分同一种量的含量数值。通过将这两种换算方式相结合，混合气体的组成可同时进行不同组分量的换算和不同状态条件的换算。 本文件只适用于均匀稳定的混合气体。因此所涉及的任一状态条件（压力和温度）都要确保混合气体和每一个指定分析组分均不产生凝析（见附录A）。

适用范围：本文件规定了六氟丁二烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于由工业六氟丁二烯提纯制备的电子级六氟丁二烯。

适用范围：本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。

适用范围：本文件规定了三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以硼酸、氟化氢和发烟硫酸（或三氧化硫）为主要原料制得的三氟化硼。 本文件不适用于半导体制造用的三氟化硼。

适用范围：GB/T 5832的本部分规定了采用石英晶体振荡法测定气体中微量水分的方法原理、仪器要求、测定步骤、结果处理和试验报告。 本部分适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪、氙、六氟化硫、一氧化碳、氧化亚氮、空气等气体及其混合气体中微量水分的测定，不适用于对石英晶体有腐蚀的气体以及能与水分发生反应的气体。测定范围：0.1×10-6（体积分数)～2 000×10-6（体积分数)。

适用范围：GB/T 28125的本部分规定了空分工艺气体中矿物油含量测定的方法原理、试剂和材料、仪器和设备、采样、悬浮油的测定、蒸汽油的测定、总矿物油的含量、报告和注意事项。 本部分适用于空气分离工艺中氧气、氮气、氩气、氦气及压缩空气等气体中矿物油含量的测定。矿物油含量测定范围为0.001 mg/m3～10 mg/m3。

适用范围：本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。 本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

适用范围：本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。

适用范围：本标准规定了气体组分含量测量过程及结果相关的校准技术要求，包括测量标准、测量标准的取气、输气系统、比较法校准、计量设备的溯源性要求以及测量结果的不确定度。本标准适用于采用比较法对气体组分含量进行的测量。

适用范围：本标准定义了气体分析相关的术语，主要侧重于气体分析和气体测量中使用的校准用混合气体相关的术语。不包括仅与特定应用相关的术语。

适用范围：本标准规定了用压力法制备混合气体的术语和定义、原理、策划、制备、检验、合格证、包装、充装、储运以及安全要求。本标准适用于瓶装混合气体的批量制备及集束装混合气体的制备。

适用范围：本标准规定了校准混合气体的基本要求、名称、制备、包装、标志、储运和使用的通用技术要求。 本标准适用于各类方法制备的校准混合气体。

适用范围：本标准规定了制备校准混合气体所用原料的纯度分析要求，以及纯度数据在所制备的混合气体组成计算中的应用。

适用范围：本标准规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中氮氧化物的方法原理、仪器一般要求、仪器校准要求、试验步骤、结果处理和报告。 本标准适用于气体中一氧化氮和二氧化氮含量的测定，一氧化氮含量的测定范围:（1～1 000)×10-6（体积分数)、二氧化氮含量的测定范围:（0.1～1 000)×10-6（体积分数)。本标准不适用于对吸收光谱有干扰的气体。

适用范围：本标准规定了采用紫外差分吸收光谱法测定气体中二氧化硫和氮氧化物的方法。本标准适用于标准气体、工业气体、环境空气等气体中二氧化硫和氮氧化物的测定。二氧化硫测定范围为0.2 mg/m3～5 000 mg/m3，一氧化氮测定范围为0.3 mg/m3～5 000 mg/m3，二氧化氮测定范围为2 mg/m3～5 000 mg/m3。

适用范围：本标准规定了测定室内空气中挥发性有害有机物的SUMMA罐采样气相色谱/质谱法。本标准适用于住宅、办公建筑物、环境实验舱等空气中19种挥发性有机物（参见附录A）测定，及其他室内常见挥发性有机物（参见附录B）测定。其他室内环境空气中挥发性有机物的测定可参照本标准执行。