GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
GB/T 38867-2020 Silicon tetrachloride for electronic industry
国家标准
中文简体
现行
页数：14页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-02-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
发布历史
-
2020年07月
研制信息
- 起草单位：
- 湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、 随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅
- 出版信息：
- 页数：14页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT388672020
电子工业用四氯化硅
Silicontetrachlorideforelectronicindustr
y
2020-07-21发布2021-02-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
电子工业用四氯化硅
/—
GBT388672020
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号()
2100029
北京市西城区三里河北街号()
16100045
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pg
服务热线:
400-168-0010
年月第一版
20207
*
书号:
定制服务
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