GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
GB/T 38866-2020 Dichlorosilane for electronic industry
基本信息
发布历史
-
2020年07月
研制信息
- 起草单位：
- 湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、傅铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、方艾黎、谭依玲
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
GBT38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
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２０２００７２１２０２１０２０１
GB∕T38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
GBT38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
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电子工业用二氯硅烷
１范围
本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全
的要求。
本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。
２规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
。，（）。
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
ＧＢ１９０危险货物包装标志
／化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
ＧＢＴ６０２
／工业用化学产品采样安全通则
ＧＢＴ３７２３
／氩
ＧＢＴ４８４２
／钢质无缝气瓶
ＧＢＴ５０９９
／气瓶颜色标志
ＧＢＴ７１４４
／气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法
ＧＢＴ８９８４
／—电子级水
ＧＢＴ１１４４６．１２０１３
／液化气体气瓶充装规定
ＧＢＴ１４１９３
ＧＢ１５２５８化学品安全标签编写规定
／气瓶警示标签
ＧＢＴ１６８０４
／气体分析氦离子化气相色谱法
ＧＢＴ２８７２６
／不锈钢焊接气瓶
ＧＢＴ３２５６６
／电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
ＧＢＴ３４９７２
ＴＳＧＲ０００６气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例（年月日中华人民共和国国务院令第号公布，年月
２００２１２６３４４２０１１２
１６日国务院第１４４次常务会议修订通过）
特种设备安全监察条例（版，中华人民共和国国务院令第号）
２００９５４９
３技术要求
二氯硅烷的技术要求应符合表的规定。
１
表１技术要求
项目名称指标
二氯硅烷（）纯度（体积分数）／－２
ＳｉＨＣｌ１０≥９９．９９
２２
四氯化硅（）含量（体积分数）／－６
ＳｉＣｌ１０≤２５
４
１
GB∕T38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
GBT38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
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表１（续）
项目名称指标
三氯氢硅（）含量（体积分数）／－６
ＳｉＨＣｌ１０≤１０
３
（一氯硅烷氯化氢）含量“（）含量”，以氯化氢计（体积分数）／－６
＋ＳｉＨＣｌ＋ＨＣｌ１０≤５０
３
氮（）含量（体积分数）／－６
Ｎ２１０≤１
（）（）（）／－６
氧氩含量体积分数１
＋Ｏ＋Ａｒ１０≤
２
一氧化碳（）含量（体积分数）／－６１
ＣＯ１０≤
（）（）／－６
氢Ｈ２含量体积分数１０≤１０
二氧化碳（）含量（体积分数）／－６１
ＣＯ２１０≤
总烃（）含量，以甲烷（）计（体积分数）／－６
ＴＨＣＣＨ４１０≤１
（硼铝）（）含量／（／）
＋Ｂ＋Ａｌμｇｋｇ≤０．１０
（磷砷）（）含量／（／）
＋Ｐ＋Ａｓμｇｋｇ≤０．３０
（）／（／）
镓Ｇａ含量μｇｋｇ≤０．１０
锑（）含量／（／）
Ｓｂμｇｋｇ≤０．１０
铟（）含量／（／）
Ｉｎμｇｋｇ≤０．１０
钙（）含量／（／）
Ｃａμｇｋｇ≤１．００
（）／（／）
铬Ｃｒ含量μｇｋｇ≤１．００
铁（）含量／（／）
Ｆｅμｇｋｇ≤５．００
金属元素及
钾（）含量／（／）
Ｋμｇｋｇ≤１．００
其他元素含量
钠（）含量／（／）
Ｎａμｇｋｇ≤０．２０
镍（）含量／（／）
Ｎｉμｇｋｇ≤１．００
钼（）含量／（／）
Ｍｏμｇｋｇ≤０．１０
锰（）含量／（／）
Ｍｎμｇｋｇ≤０．２０
铜（）含量／（／）
Ｃｕμｇｋｇ≤０．２０
（）／（／）
镉Ｃｄ含量μｇｋｇ≤０．５０
钴（）含量／（／）
Ｃｏμｇｋｇ≤０．５０
锌（）含量／（／）
Ｚｎμｇｋｇ≤０．１０
４检验规则
４．１抽样和判定
二氯硅烷产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合第章的技术要求时，则判
３
该产品不合格。
４．２采样
二氯硅烷采样安全应符合／中的相关规定。
４．２．１ＧＢＴ３７２３
４．２．２测定二氯硅烷中四氯化硅、三氯氢硅、金属元素及其他元素的含量时，应液相取样，取样方法参
２
GB∕T38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
GBT38866-2020电子工业用二氯硅烷，本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适
用于歧化法制备的二氯硅烷。
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。，。
见附录Ａ测定其他杂质含量时应气相取样
４．３尾气处理
，，。
测定二氯硅烷中的杂质含量时应有二氯硅烷尾气处理措施以防止二氯硅烷对环境的污染
５试验方法
５．１二氯硅烷的含量
二氯硅烷纯度以体积分数表示，按式（）计算：
１
（）－４
定制服务
推荐标准
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- DL/T 513-1993 NJG型耐压式计量给煤机 1993-03-08
- JB/T 6100-1992 电磁皮带轮技术条件 1992-05-16
- QB/T 2125-1995 帮工传送线 1995-06-07
- SHS 03055-2004 钢制无夹套盐酸合成炉维护检修规程 2004-06-21
- GB/T 4325.24-1984 钼化学分析方法 钼蓝光度法测定磷量 1984-04-12
- HB 3439-1984 加工高温合金及钛合金用麻花钻技术条件 1984-08-23
- HB 3-21-1976 软卡箍 1978-04-05
- HG 2275.3-1992 雄黄矿 雌黄矿 砷含量的测定 1992-03-11