适用范围：本文件规定了集成电路外延设备用圆形石英腔的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注倒角公差、未注角度公差、材料杂质元素含量、应力、密封面泄漏率

适用范围：本文件规定了半导体槽式清洗设备用石英载具的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注角度尺寸公差、未注形位公差、材料杂质元素含量、应力

适用范围：本标准规定了使用酸浸取石英玻璃表层一定深度（≤5μm）内的金属杂质，使用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）定量检测被浸取的石英玻璃质量，使用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）定量检测金属杂质元素含量的方法。 方法原理、干扰因素、试剂、仪器和设备、环境条件、试样准备、试验步骤、结果计算与表示、精密度和质量控制、试验报告

适用范围：本文件规定了高分子托辊绿色设计产品的评价原则和方法、评价要求和生命周期评价报告编制方法。本文件适用于高分子托辊绿色设计产品的评价。 本文件规定了高分子托辊绿色设计产品的评价原则和方法、评价要求和生命周期评价报告编制方法

适用范围：本文件适用于液滴规模化制造集成放大多通道微流控芯片的设计。其中"集成放大"指由经验证的单通道液滴生成单元向多通道并行阵列的规模扩展。 本文件规定了液滴规模化制造集成放大多通道微流控芯片的设计要求，包括命名、设计要求、设计验证方法

适用范围：本标准规定了集成电路炉管设备用石英部件的真空泄漏测试方法，包括测试的一般要求、测试方法、和测试报告 人员资质、设备要求、气体要求、环境要求、测试方法、测试报告