适用范围：本标准规定了使用酸浸取石英玻璃表层一定深度（≤5μm）内的金属杂质，使用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）定量检测被浸取的石英玻璃质量，使用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）定量检测金属杂质元素含量的方法。 方法原理、干扰因素、试剂、仪器和设备、环境条件、试样准备、试验步骤、结果计算与表示、精密度和质量控制、试验报告

适用范围：本文件规定了半导体槽式清洗设备用石英载具的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注角度尺寸公差、未注形位公差、材料杂质元素含量、应力

适用范围：本文件规定了集成电路外延设备用圆形石英腔的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注倒角公差、未注角度公差、材料杂质元素含量、应力、密封面泄漏率

适用范围：本标准规定了集成电路炉管设备用石英部件的真空泄漏测试方法，包括测试的一般要求、测试方法、和测试报告 人员资质、设备要求、气体要求、环境要求、测试方法、测试报告