GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

ICS77.040

H21OB

中华人民共和国国家标准

GB/T36705—2018

氮化镣衬底片载流子浓度的测试

拉曼光谱法

Testmethodforcarrierconcentrationofgalliumnitridesubstrates—

Ramanspectrummethod

2018-09-17发布2019-06-01实施

发布

GB/T36705—2018

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本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准

化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本标准起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天

合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中傢半导体科技有限公司、中国电子

技术标准化研究院。

本标准主要起草人:郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、

杨建。

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GB/T36705—2018

氮化¥家衬底片载流子浓度的测试

拉曼光谱法

1范围

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化傢衬底片载流子浓度的方法。

本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化傢材料上生长的N型氮化傢衬底片载流子浓度的测试。

测试范围:1XIO17cm-3〜IX10"cm-3o

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T14264半导体材料术语

3术语和定义

GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。

4方法提要

在一定温度下，物质晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振动(晶格振动)，晶格振动的能量用

声子表示。氮化傢材料中一定浓度的载流子与晶格振动相互作用，可以形成纵光学声子与载流子的耦

合模(L()phonon-plasmoncoupledmode,简称LOPC),该耦合模可以在拉曼光谱上出现低频支、高频

支(lowerandupperfrequencybranches,常标记为LPP—和LPP+)的特征峰。该特征峰的峰位随载流

子浓度的变化而改变，通过峰位的变化可计算出载流子浓度