T/CASME 2139-2026 半导体二谐波晶圆检测设备性能测试方法
T/CASME 2139-2026 Test method for performance of semiconductor second harmonic wafer inspection equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 2139-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-01-30
实施日期
2026-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
本文件适用于半导体制造过程中用于非接触、无损伤的二谐波晶圆检测设备的性能测试。
本文件规定了半导体二谐波晶圆检测设备性能测试的测试条件、晶圆样品、测试内容、测试方法、测试数据处理、质量保证和控制以及测试报告等内容
发布历史
-
2026年01月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海微崇半导体设备有限公司、北京科技职业大学、北京六只猫创意科技有限公司、北京工业大学、北京中泽华控科技有限公司
- 起草人：
- 周朴希、李金义、周琳、杨笛、乐志斌、夏卫彬、闫子轻
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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