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DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

DB31/ 506-2020 The energy consumption limit per unit product for integrated circuit wafer manufacturing units

上海市地方标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
DB31/ 506-2020
标准类型
上海市地方标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
F01 技术管理
国际标准分类号（ICS）
27.010 能源和热传导工程综合
发布日期
2020-09-25
实施日期
2020-12-01
发布单位/组织
上海市市场监督管理局
归口单位
上海市能源标准化技术委员会
适用范围
本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。

发布历史

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DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额-第1页
DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额-第2页
DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额-第3页

研制信息

起草单位：
上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司
起草人：
陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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    GB 17167
    GB 17167-2025 用能单位能源计量器具配备和管理通则
    现行
    GB/T 17167-1997 企业能源计量器具配备和管理导则
    被代替
    GB 17167-2006 用能单位能源计量器具配备和管理通则
    被代替
    替代以下标准
    DB31/ 506-2010
    DB31/ 506-2010 集成电路晶圆制造能耗限额
    被代替

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