GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
GB/T 24468-2009 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
国家标准
中文简体
现行
页数：32页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
适用范围
2.1本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。
发布历史
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子技术标准化研究所
- 起草人：
- 黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝
- 出版信息：
- 页数：32页 | 字数：58 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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半导体设备可靠性、可用性和维修性
（）的定义和测量规范
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２００９１０１５发布２００９１２０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜２４４６８２００９
目次
前言Ⅲ
１目的１
２范围１
３规范性引用文件１
４术语和定义１
５设备的状态４
６ＲＡＭ测量
定制服务
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