GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 4061-2009 Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准
中文简体
现行
页数：4页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
发布历史
-
1983年12月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 洛阳中硅高科技有限公司
- 起草人：
- 袁金满
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：5 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛２９．０４５
犎８０
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜４０６１２００９
代替—
ＧＢ４０６１１９８３
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
犘狅犾犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲狊犻犾犻犮狅狀犲狓犪犿犻狀犪狋犻狅狀犿犲狋犺狅犱犪狊狊犲狊狊犿犲狀狋狅犳
狔狔
狊犪狀犱狑犻犮犺犲狊狅狀犮狉狅狊狊狊犲犮狋犻狅狀犫犮犺犲犿犻犮犪犾犮狅狉狉狅狊犻狅狀
狔
２００９１０３０发布２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／
定制服务
推荐标准
- GA/T 908-2010 微量物证的提取、包装方法 易燃液体残留物 2010-12-08
- GA/T 904-2010 微量物证的提取、包装方法 油脂 2010-12-08
- CJ/T 339-2010 快速公共汽车交通(BRT)公共汽车通用技术要求 2010-12-10
- GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法 扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物 2010-12-08
- CJ/T 360-2010 下水道及化粪池气体监测技术要求 2010-12-10
- GA/T 905-2010 微量物证的提取、包装方法 金属 2010-12-08
- CJ/T 359-2010 铝合金水表壳及管接件 2010-12-10
- CJ/T 358-2010 非开挖铺设用高密度聚乙烯排水管 2010-12-10
- GA/T 906-2010 微量物证的提取、包装方法 泥土 2010-12-08
- GA/T 907-2010 微量物证的提取、包装方法 爆炸残留物 2010-12-08