GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 4061-2009 Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准
中文简体
现行
页数：4页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
发布历史
-
1983年12月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 洛阳中硅高科技有限公司
- 起草人：
- 袁金满
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：5 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛２９．０４５
犎８０
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜４０６１２００９
代替—
ＧＢ４０６１１９８３
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
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２００９１０３０发布２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
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