GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT328162016

硅基MEMS制造技术

以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo—

gy

Secificationforcriterionofthecombination

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ofthedeeetchinandbondinrocess

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2016-08-29发布2017-03-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT328162016

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4工艺流程…………………1

4.1概述…………………1

4.2硅片选择……………1

4.3键合区制备…………………………1

4.4玻璃片金属电极制备………………5

硅玻璃阳极键合……………………

4.5-8