GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

GB/T1558-1997

，当

前「1

本标准等效采用ASTMF123-91《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》对我国标准

GB1558-83(测定硅晶体中代位碳含量的红外吸收方法》进行修订而成的。

本标准对GB1558-83中半值宽度的定义和试样厚度的要求按ASTMF123-91作了修订。

本标准在编写时略去了ASTMF123-91的第5章“意义和用途”，将ASTMF123的第8章“取

样”和第9章“测试样品和参比样品”合并为本标准的第7章试“样制备”以使标准简单、明了。

本标准从1998年8月1日起实施。本标准生效之日起，同时代替国家标准GB1558-83,

本标准的附录A是提示的附录。

本标准由中国有色金属工业总公司提出。

本标准由中国有色金属工业总公司标准计最研究所归口。

本标准由峨眉半导体材料厂负责起草。

本标准主要起草人：梁洪、刘文魁、吴福立。

本标准1979年6月首次发布，1997年第二次修订。

中华人民共和国国家标准

硅中代位碳原子含AGB/T1558一1997

红外吸收测t方法

代替GB1558-83

Testmethodforsubstitutionalatomiccarbon

contentofsiliconbyinfraredabsorption

范围

本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。

本标准适用于载流子浓度小于5X1016cm-3、室温电阻率大于。.1O"cm的硅单晶中代位碳原子

浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳浓度。

本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定。其晶粒界间区的碳同样不能测定。

本标准测量碳原子浓度的有效范围为：室温下从硅中代位碳原子浓度1X10"at·cm-3(200PPba)

到碳原子的最大溶解度，77K时下限降到5X10'5at·cm-3(100PPba)a

2引用标准

下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时所示版本均为有

效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

GB/T6618-1995硅片厚度和总厚度变化的测试方法

3定义

本标准采用以下定义。

3.1基线basiclinc

从参比图谱吸收峰两侧最大透过率处作出的一条切线，用来计算吸收系数a。见图la

3.2碳浓度carbondensity

在本方法中，是指占据晶格替代位置的碳原子的体密度。根据比耳定律，它与吸收系数成正比，单位

是at·cm-3

3.3半值宽度fullwidthathalfmaximum