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GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则

GB/T 26113-2010 Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

国家标准 中文简体 现行 页数：11页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26113-2010
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55/59 微电路
国际标准分类号（ICS）
31.200 集成电路、微电子学
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

发布历史

文前页预览

GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则-第1页
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则-第2页
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则-第3页

研制信息

起草单位：
中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
起草人：
丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥
出版信息：
页数：11页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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