GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 30866-2014 Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准
中文简体
现行
页数：4页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
发布历史
-
2014年07月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
H83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT308662014
碳碳化硅单晶片直径测试方法
Testmethodformeasurindiameterofmonocrstallinesiliconcarbidewafers
gy
2014-07-24发布2015-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
定制服务
推荐标准
- GB/T 16284.9-2016 信息技术 信报处理系统(MHS) 第9部分：电子数据交换信报处理系统 2016-04-25
- GB/T 17421.4-2016 机床检验通则 第4部分：数控机床的圆检验 2016-04-25
- GB/T 17421.6-2016 机床检验通则 第6部分：体和面对角线位置精度的确定(对角线位移检验) 2016-04-25
- GB/T 18759.5-2016 机械电气设备 开放式数控系统 第5部分：软件平台 2016-04-25
- GB/T 16432-2016 康复辅助器具 分类和术语 2016-04-25
- GB/T 18031-2016 信息技术 数字键盘汉字输入通用要求 2016-04-25
- GB/T 17421.2-2016 机床检验通则 第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定 2016-04-25
- GB/T 18759.6-2016 机械电气设备 开放式数控系统 第6部分：网络接口与通信协议 2016-04-25
- GB/T 16935.3-2016 低压系统内设备的绝缘配合 第3部分：利用涂层、罐封和模压进行防污保护 2016-04-25
- GB/T 17421.7-2016 机床检验通则 第7部分：回转轴线的几何精度 2016-04-25