GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 30866-2014 Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
基本信息
标准号
GB/T 30866-2014
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
发布历史
-
2014年07月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
H83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT308662014
碳碳化硅单晶片直径测试方法
Testmethodformeasurindiameterofmonocrstallinesiliconcarbidewafers
gy
2014-07-24发布2015-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
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