GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法

GB/T 30866-2014 Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 14140-2025 | 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 30866-2014

标准类型

国家标准

标准状态

被代替

中国标准分类号（CCS）

H83 化合物半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2014-07-24

实施日期

2015-02-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。

发布历史

2014年07月

GB/T 30866-2014　碳化硅单晶片直径测试方法

当前标准被代替 2014-07-24

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

起草人：: 丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川

出版信息：: 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS29.045

H83

中华人民共和国国家标准

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GBT308662014

碳碳化硅单晶片直径测试方法

Testmethodformeasurindiameterofmonocrstallinesiliconcarbidewafers

2014-07-24发布2015-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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定制服务

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GB/T 14140-2025

GB/T 14140-2025 半导体晶片直径测试方法

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