GB/T 35316-2017 蓝宝石晶体缺陷图谱

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标准号

GB/T 35316-2017

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H80/84 半金属与半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2017-12-29

实施日期

2018-07-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了蓝宝石晶体缺陷的术语和定义、形貌特征及产生原因。
本标准适用于蓝宝石单晶材料制备中各种缺陷的检验和分析。

起草单位：: 中国科学院上海光学精密机械研究所、上海大恒光学精密机械有限公司、中国科学院新疆理化技术研究所、新疆紫晶光电技术有限公司、有色金属技术经济研究院、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、苏州恒嘉晶体材料有限公司、江苏吉星新材料有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、天津三安光电有限公司、江西东海蓝玉光电科技有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司