T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
T/ICMTIA 5.2-2020 ArF immersion photomask for integrated circuits
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA 5.2-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-12-31
实施日期
2021-03-01
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
2020年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： 大16开开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- HY/T 0468-2024 围填海工程生态建设技术指南 2024-09-13
- DB54/T 0512-2025 油莎豆栽培技术规程 2025-08-18
- T/GXMES 009-2025 建筑陶瓷材料集中制粉技术规范 2025-07-31
- T/QGCML 5019-2025 出版物教材印刷智能化生产流程技术规范 2025-08-12
- DB54/T 0510-2025 油菜蚜虫防治技术规程 2025-08-18
- DB54/T 0511-2025 油菜种子生产技术规程 2025-08-18
- HY/T 0467-2024 河口潮滩湿地盐地碱蓬生态工程构建技术规程 2024-09-13
- HY/T 0463-2024 琼胶寡糖 2024-09-13
- HY/T 0444-2024 大洋多金属结核资源勘查制图规范 2024-09-13
- HY/T 0453-2024 走航式温盐深剖面测量仪 2024-09-13