T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
T/ICMTIA 5.3-2020 The method of inspecting ArF photoresist used in integrated circuits using optical lithography
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA 5.3-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-12-31
实施日期
2021-03-01
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
2020年12月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： 大16开开
内容描述
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