DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

ICS81.040.30

CCSL90

13

河北省地方标准

DB13/T5631—2022

电子专用材料单晶硅生长用

石英坩埚生产技术规范

2022-12-27发布2023-01-27实施

河北省市场监督管理局发布

DB13/T5631—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件由由廊坊市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。

本文件主要起草人：贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东。

I

DB13/T5631—2022

电子专用材料单晶硅生长用

石英坩埚生产技术规范

1范围

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、

工艺过程、环境要求和管理要求。

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB50034建筑照明设计标准

GB50073洁净厂房设计规范

GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一部分化学有害因素）

GBZ188职业健康监护技术规范

GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

电弧熔制arcfusion

利用高温电弧熔融石英砂原料的过程。

涂层coating

在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。

4从业人员

职业健康

应按照GBZ188的要求，对从业人员进行