JJF 2382-2026 光谱共焦位移测量仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2382—2026

光谱共焦位移测量仪

校准规范

CalibrationSpecificationforChromatic

ConfocalLinearInstruments

2026‑04‑02发布2026‑10‑02实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2382—2026

光谱共焦位移测量仪

校准规范

JJF2382—2026

CalibrationSpecificationforChromatic

ConfocalLinearInstruments

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

主要起草单位：中国计量科学研究院

中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术

研究所

新疆维吾尔自治区计量测试研究院

参加起草单位：河南省计量科学研究院

思显光电技术（上海）有限公司

厦门市计量检定测试院

本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJF2382—2026

本规范主要起草人：

朱小平（中国计量科学研究院）

李加福（中国计量科学研究院）

赵新丽（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术

研究所）

赵宏亮（新疆维吾尔自治区计量测试研究院）

参加起草人：

黄玉珠（河南省计量科学研究院）

时博洋[思显光电技术（上海）有限公司]

郑伟峰（厦门市计量检定测试院）

JJF2382—2026

目录

引言………………………（Ⅱ）

1范围…………………（1）

2引用文件……………（1）

3概述…………………（1）

4计量特性……………（2）

4.1测量重复性………………………（2）

4.2漂移………………（2）

4.3示值误差…………（2）

5校准条件……………（2）

5.1环境条件…………（2）

5.2测量标准及其他设备……………（2）

6校准项目和校准方法………………（2）

6.1校准前准备………………………（2）

6.2测量重复性………………………（3）

6.3漂移………………（3）

6.4示值误差…………（3）

7校准结果的表达……………………（3）

8复校时间间隔………………………（3）

附录A测量仪示值误差测量结果的不确定度评定示例（激光干涉仪方法）……（4）

附录B校准证书内页格式……………（6）

附录C典型测量仪主要技术参数……………………（7）

Ⅰ

JJF2382—2026

引言

JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1071—2010《国家计量校准规范编

写规则》和JJF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定

工作的基础性系列规范。

本规范为首次发布。

Ⅱ

JJF2382—2026

光谱共焦位移测量仪

校准规范

1范围

本校准规范适用于量程为0.1mm至60mm的光谱共焦位移测量仪的校准。

2引用文件

本规范引用下列文件：

JJF1663激光测微仪校准规范

GB/T33523.602产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第602部分：

非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文

件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3概述

光谱共焦位移测量仪（以下简称测量仪）是一种通过光学色散原理建立距离与波

长的对应关系，利用光谱仪解码光谱信息，从而获得位置信息的装置，通常由光谱共

焦传感器、光谱仪及控制器、数据处理电脑组成。测量仪主要用于位移的测量，在微

电子、半导体、液晶平板等领域具有广泛的应用。测量仪工作原理见图1，测量仪主

要组成见图2。

1

2

6

3

A&

I

7

3

λ

λminλiλmax

A

4λmin

λi

λmax

5

)*6

图1测量仪工作原理图图2测量仪组成示意图

1—白光光源；2—光阑；3—分光镜；4—色散透镜；

5—被测物体；6—光谱仪；7—处理显示单元；

λ—测量仪量程下限对应的光波长；λ—当前测量位置

mini

—

对应的光波长；λmax测量仪量程上限对应的光波长

1