GB/T 33523.602-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第602部分：非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT33523.6022022ISO25178-6022010

产品几何技术规范()表面结构

GPS

:

区域法第部分非接触

602

()

共聚焦色差探针式仪器的标称特性

()—:—:

GeometricalroductsecificationsGPSSurfacetextureArealPart602

pp

()

Nominalclaracteristicsofnon-contactconfocalchromaticrobe

p

instruments

(:,)

ISO25178-6022010IDT

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT33523.6022022ISO25178-6022010

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4计量特性概述……………13

()……………

附录规范性区域表面结构扫描仪器不同结构的分类

A15

()………………

附件资料性一般原理

B16

()…………………

附录规范性概念图

C23

()……………

附录资料性与矩阵模型的关系

DGPS24

参考文献……………………25

/—/:

GBT33523.6022022ISO25178-6022010

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《()》。

本文件是GBT33523产品几何技术规范GPS表面结构区域法的第602部分

/已经发布了以下部分:

GBT33523

———:;

第部分表面结构的表示法

1

———:、;

第部分术语定义及表面结构参数

2

———:;

第部分规范操作集

3

———:;

第部分表面结构测量方法的分类

6

———:;

第部分实物测量标准

70

———:;

第部分软件测量标准

71

———第部分:文件格式;

72XMLx3p

———:();

第601部分接触触针式仪器的标称特性

———:();

第602部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———:()