GB/T 33523.700-2025 产品几何技术规范(GPS) 表面结构：区域法 第700部分：区域形貌测量仪器的校准、调整和验证

ICS17040201704040

;

CCSJ0.4...

中华人民共和国国家标准

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

():

区域法第700部分区域形貌测量仪器的

:

校准调整和验证

、

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—

pp():

Part700Calibrationadustmentandverificationofarealtoorah

:,jpgpy

measuringinstruments

ISO25178-7002022IDT

(:,)

2025-05-30发布2025-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是产品几何技术规范表面结构区域法的第部分

GB/T33523《(GPS):》700。

已经发布了以下部分

GB/T33523:

第部分表面结构的表示法

———1:;

第部分术语定义及表面结构参数

———2:、;

第部分规范操作集

———3:;

第部分表面结构测量方法的分类

———6:;

第部分实物测量标准

———70:;

第部分软件测量标准

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分实物标准表面缺陷的术语和定义

———73:;

第部分区域形貌测量方法的计量特性

———600:;

第部分接触触针式仪器的标称特性

———601:();

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———602:();

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

———603:();

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

———604:();

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

———605:();

第部分非接触变焦式仪器的标称特性

———606:();

第部分区域形貌测量仪器的校准调整和验证

———700:、;

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准

———701:()。

本文件等同采用产品几何技术规范表面结构区域法第部

ISO25178-700:2022《(GPS):700

分区域形貌测量仪器的校准调整和验证

:、》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC240)。

本文件起草单位哈尔滨工业大学深圳市中图仪器股份有限公司中机研标准技术研究院北京

:、、()

有限公司中国计量科学研究院中国科学院上海光学精密机械研究所天津大学青岛城市学院郑州

、、、、、

大学先临三维科技股份有限公司黑龙江省计量检定测试研究院浙江大学中机生产力促进中心有限

、、、、

公司

。

本文件主要起草人刘俭张和君刘辰光朱悦施玉书苏榕郭彤张慧杰赵凤霞由小玉李仁举

:、、、、、、、、、、、

周彤张宗政翁兆楠

、、。

Ⅰ

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

引言

随着国家产品质量提升计划的实施对产品设计制造度量和检验过程中使用的统一规范或原则

,、、

的需求越来越迫切原有产品几何技术规范中表面结构的表示方法及相关标准已不能满足产品制造过

。

程中的表面质量控制要求

。

产品几何技术规范表面结构区域法基于新一代产品几何规范体

GB/T33523《(GPS):》GPS

系通过数字化测量技术软件分析技术及计量评定等手段构建一套全新的三维表面结构测量与分析

,、,

的推荐性国家标准在提出表面结构表示法表面结构参数及规范操作集的基础上分析

。GB/T33523、,

了表面结构测量的方法给出了使用的测量技术及仪器的标称特性特别是在涵盖接触

,。,GB/T33523

式测量仪器的同时重点引入了在高精度测量应用中具有重要价值但缺乏标准支撑的多种非接触式测

,

量仪器还规范了实物测量和软件测量标准给出了软件文件标准和表面结构测量的计

。GB/T33523,

量特性实现了从二维轮廓测量到三维表面结构测量的跨越为产品几何规范体系

。GB/T33523,GPS

提供了计量测试支撑

。

拟由个部分构成

GB/T3352317。

第部分表面结构的表示法旨在规定产品技术文件例如图纸规范合同和报告中利用

———1:。(、、)

图形符号表示区域表面结构的规则

。

第部分术语定义及表面结构参数旨在规定用区域法评定表面结构的术语定义和参数

———2:、。、。

第部分规范操作集旨在规定适用于区域法评定表面结构尺度限定表面的完整规范操

———3:。()

作集

。

第部分表面结构测量方法的分类旨在规定主要用于表面结构测量方法的分类体系定义

———6:。,

三类方法描述三类方法之间的关系并对具体方法做了简要说明

,,。

第部分实物测量标准旨在规定用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测

———70:。

量标准的特性

。

第部分软件测量标准旨在规定用于测量仪器软件校验的型和型软件测量标准

———71:。S1S2

标准具的术语定义

()。

第部分文件格式旨在规定用于存储和交换形貌及轮廓数据的文件格

———72:XMLx3p。XML

式

x3p。

第部分实物标准表面缺陷的术语和定义旨在界定和中规定

———73:。ISO5436-1ISO25178.70

的实物量具及校准样块表面上可呈现出的几何缺陷类别的定义定义对这些缺陷处理方法的

,

术语

。

第部分区域形貌测量方法的计量特性旨在规定用于表面形貌测量的区域法测量仪器

———600:。

的计量特性

。

第部分接触触针式仪器的标称特性旨在规定表面结构区域法接触触针式仪器的

———601:()。()

标称特性

。

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性旨在规定使用基于白光轴向色散

———602:()。

特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性旨在规定相移干涉法轮廓和区

———603:()。(PSI)

域表面结构测量显微镜的计量特性

。

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性旨在规定用于表面高度三维映射的

———604:()。

相干扫描干涉测量系统的计量特性

(CSI)。

Ⅱ

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性旨在规定使用点自动对焦探针测

———605:()。

量表面结构的非接触式仪器的计量特性

。

第部分非接触变焦式仪器的标称特性旨在规定使用变焦传感器测量表面结构

———606:()。(FV)

的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分区域形貌测量仪器的校准调整和验证旨在规定用于校准调整和验证

———700:、。、

中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的通用程序

ISO25178-600。

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准旨在规定区域法表面结构接触触针式

———701:()。()

仪器用作测量标准的实物量具的特性残余误差的评定方法校准验收和周期检定的检测

,,、

方法

。

Ⅲ

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

():

区域法第700部分区域形貌测量仪器的

:

校准调整和验证

、

1范围

本文件规定了用于校准调整和验证中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的

、ISO25178-600

通用程序由于表面轮廓可以从表面形貌图像中提取因此本文件描述的大多数方法可以适用于轮廓

。,

法测量仪器

。

本文件不涉及仪器特定的问题例如对于探头按照弧形运动的机械式探测仪器

。,,ISO25178-701

中规定了额外的测量标准

。

本文件不涉及中规定的区域整体法例如用于表面形貌测量的光散射法的程序

ISO25178-6()。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

产品几何技术规范表面结构区域法第部分实物标准表面

GB/T33523.73—2025(GPS):73:

缺陷的术语和定义

(ISO25178-73:2019,IDT)

产品几何技术规范表面结构区域法第部分区域形貌测

GB/T33523.600—2025(GPS):600:

量方法的计量特性

(ISO25178-600:2019,IDT)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

非测点non-measuredpoints

不存在有效测量值的表面位置

。

注1非测点的处理见

:6.3。

注2非测点可能是由测量仪器的特征或测量标准上超出了仪器测量范围的表面缺陷引起的

:。

32

.

虚假数据spuriousdata

根据测量原理认定为可测量的但根据先验知识明显偏离合理值范围的数据

,。

注1虚假数据可能是单点或一组点这些点被测量仪器认定为可测点根据待测表面和仪器的先验知识或仅根据

:,,,

表面上的缺陷和污染判断其值可能不存在从而将其识别为虚假数据虚假数据可能以异常值或尖刺的形

,,。

式出现

。

注2虚假数据可能由环境条件例如振动或外部光源表面与仪器之间的相互作用或仅由表面上的缺陷和污染导

:()、

1

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

致虚假数据可能以异常值或尖刺的形式出现

。。

注3虚假数据的处理见

:6.4。

33

.

测量噪声measurementnoise

N

M

仪器正常使用过程中叠加于输出信号上的噪声

。

来源有修改

[:GB/T33523.600—2025,3.1.15,]

34

.

仪器噪声instrumentnoise

N

I

当仪器处于一个理想的无噪声环境中时叠加于输出信号上的内部噪声

,。

来源有修改

[:GB/T33523.600—2025,3.1.14,]

35

.

z轴线性偏差z-linearitydeviation

lz

获取放大倍数的直线与响应函数之间的最大局部差异

。

来源有修改

[:GB/T33523.600—2025,3.1.11,]

36

.

仪器传递函数曲线instrumenttransferfunctioncurve

fITF

描述仪器的高度响应与表面形貌空间频率之间函数关系的曲线

。

来源有修改

[:GB/T33523.600—2025,3.1.19,]

37

.

形貌保真度topographyfidelity

T

FI

测得表面轮廓或形貌与参考值之间的一致程度

。

来源有修改

[:GB/T33523.600—2025,3.1.26,]

4符号和缩略语

区域形貌测量方法的计量特性及相关符号和缩略语在中进行了定义表包含了

ISO25178-600。1

这些计量特性的清单

。

2

GB/T33523700—2025/ISO25178-7002022

.:

表1表面结构测量方法计量特性表a

主要潜在误差所在坐标轴

定义所在

计量特性本文件中的条款符号GB/T33523.600—

()的条款和图(GB/T33523.600—

2025的

20253.1.2)

放大倍数αxαyαz图xyz

(6.7)、、3.1.10(2)、、

线性偏差lxlylz图xyz

(6.8)、、3.1.11(2)、、

平面度偏差zz

(6.6)FLT3.1.12

测量噪声Nz

(6.5)M3.1.15

形貌空间分辨力Wz

(6.11)R3.1.20

xy映射偏差xxyyxyxy

-(6.9)Δ(,)、Δ(,)3.1.13、

形貌保真度Txyz

(6.12)FI3.1.26、、

注1根据测量应用其他轴运动误差见和也可能很重要但本文件没有

:,(ISO230-1、ISO10360-7ISO10360-8),

针对表面结构测量列出其他轴运动误差

。

注2最大可测量斜率是针对表面形貌测量仪器规定的一项重要限制但是用户不需要测量该参数除非它是

:。,,

测量模型的一部分

。

a改编自的表

GB/T33523.600—20251。

5仪器的校准调整和验证

、

51通则

.

本文件定义了默认的校准方法本文件还规定了调整验证和确定性能规范的通用原则见图

。、,1。

用于校准的其他方法应符合本文件的要求并应予以规定

,。

如果不需要调整则初始校准即为验证在这种情况下校准结果用于测量不确定度的计算

,。,。

如果进行了调整则可通过调整后的后续校准来进行验证

,。

注白色箭头表示后续可能与规范进行比较

:。

图1