GB/T 33523.605-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第605部分：非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT33523.6052022ISO25178-6052014

产品几何技术规范()表面结构

GPS

:

区域法第部分非接触

605

()

点自动对焦探针式仪器的标称特性

()—:—:

GeometricalroductsecificationsGPSSurfacetextureArealPart605

pp

()

Nominalcharacteristicsofnon-contactointautofocusrobeinstruments

pp

(:,)

ISO25178-6052014IDT

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT33523.6052022ISO25178-6052014

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《()》。/

本文件是GBT33523产品几何技术规范GPS表面结构区域法的第605部分GBT33523

已经发布了以下部分:

———:;

第部分表面结构的表示法

1

———:、;

第部分术语定义及表面结构参数

2

———:;

第部分规范操作集

3

———:;

第部分表面结构测量方法的分类

6

———:;

第部分实物测量标准

70

———:;

第部分软件测量标准

71

———第部分:文件格式;

72XMLx3p

———:();

第601部分接触触针式仪器的标称特性

———:();

第602部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———:();

第603部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

———:();

第604部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

———:();

第605部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

———:();

第606部分非接触变焦式仪器的标称特性

———:()。

第701部分接触触针式仪器的校准与测量标准

本文件等同采用:《产品几何技术规范()表面结构区域法第部分:

ISO25178-6052014GPS605

()》。

非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC240

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本文件起草单位哈尔滨工业大学山东大学清华大学中国计量大学厦门万明电子有限公司中

、、、、

国航发动力股份有限公司北京时代之峰科技有限公司中机生产力促进中心有限公司华中科技大学

、()、、

深圳市中图仪器股份有限公司中机研标准技术研究院北京有限公司广东锦亚科技有限公司陕西

、。

智恒电器科技有限公司陕西润正检测科技有限公司

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