GB/T 33523.600-2025 产品几何技术规范(GPS) 表面结构：区域法 第600部分：区域形貌测量方法的计量特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中华人民共和国国家标准

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

():

区域法第600部分区域形貌测量

:

方法的计量特性

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—Part600

pp()::

Metrologicalcharacteristicsforarealtopographymeasuringmethods

ISO25178-6002019IDT

(:,)

2025-03-28发布2025-03-28实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

区域形貌测量方法

3.1…………………1

x和y扫描系统

3.2……………………8

光学系统

3.3……………9

工件的光学属性

3.4……………………11

用于表面结构测量的标准计量特性

4……………………12

附录资料性最大可测局部斜率数值孔径

A()vs………13

附录资料性与矩阵模型的关系

B()GPS………………14

概述

B.1…………………14

关于标准及其使用的信息

B.2…………14

在矩阵模型中的位置

B.3GPS………………………14

相关的标准

B.4…………………………14

参考文献

……………………15

Ⅰ

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是产品几何技术规范表面结构区域法的第部分已经

GB/T33523《(GPS):》600。GB/T33523

发布了以下部分

:

第部分表面结构的表示法

———1:;

第部分术语定义及表面结构参数

———2:、;

第部分规范操作集

———3:;

第部分表面结构测量方法的分类

———6:;

第部分实物测量标准

———70:;

第部分软件测量标准

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分实物标准表面缺陷的术语和定义

———73:;

第部分区域形貌测量方法的计量特性

———600:;

第部分接触触针式仪器的标称特性

———601:();

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———602:();

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

———603:();

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

———604:();

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

———605:();

第部分非接触变焦式仪器的标称特性

———606:();

第部分区域形貌测量仪器的校准调整和验证

———700:、;

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准

———701:()。

本文件等同采用产品几何技术规范表面结构区域法第部

ISO25178-600:2019《(GPS):600

分区域形貌测量方法的计量特性

:》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC240)。

本文件起草单位天津大学苏州中达计量检测技术有限公司易安蓝焰煤与煤层气共采技术有限

:、、

责任公司中机研标准技术研究院北京有限公司复旦大学天津商业大学青岛城市学院福州大学

、()、、、、、

中国计量科学研究院哈尔滨工业大学浙江大学浙大城市学院安徽创谱仪器科技有限公司宁波韦

、、、、、

尔德斯凯勒智能科技有限公司杭州古伽船舶科技有限公司中机生产力促进中心有限公司

、、。

本文件主要起草人郭彤张明李超朱悦张祥朝袁琳郎岩梅顾天奇施玉书刘辰光曹衍龙

:、、、、、、、、、、、

程晓民陈召英习建博安宁贾庆伟韩吉翁兆楠

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

引言

随着国家产品质量提升计划的实施对产品设计制造度量和检验过程中使用的统一规范或原则

,、、

的需求越来越迫切原有产品几何技术规范中表面结构的表示方法及相关标准已不能满足产品制造过

。

程中的表面质量控制要求

。

产品几何技术规范表面结构区域法基于新一代产品几何规范体

GB/T33523《(GPS):》GPS

系通过数字化测量技术软件分析技术及计量评定等手段构建一套全新的三维表面结构测量与分析

,、,

的推荐性国家标准在提出表面结构表示法表面结构参数及规范操作集的基础上分析

。GB/T33523、,

了表面结构测量的方法给出了使用的测量技术及仪器的标称特性特别是在涵盖接触

,。,GB/T33523

式测量仪器的同时重点引入了在高精度测量应用中具有重要价值但缺乏标准支撑的多种非接触式测

,

量仪器还规范了实物测量和软件测量标准给出了软件文件标准和表面结构测量的计

。GB/T33523,

量特性实现了从二维轮廓测量到三维表面结构测量的跨越为产品几何规范体系

。GB/T33523,GPS

提供了计量测试支撑

。

拟由个部分构成

GB/T3352317。

第部分表面结构的表示法旨在规定产品技术文件例如图纸规范合同和报告中利用

———1:。(、、)

图形符号表示区域表面结构的规则

。

第部分术语定义及表面结构参数旨在规定用区域法评定表面结构的术语定义和参数

———2:、。、。

第部分规范操作集旨在规定适用于区域法评定表面结构尺度限定表面的完整规范操

———3:。()

作集

。

第部分表面结构测量方法的分类旨在规定主要用于表面结构测量方法的分类体系定义

———6:。,

三类方法描述三类方法之间的关系并对具体方法做了简要说明

,,。

第部分实物测量标准旨在规定用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测

———70:。

量标准的特性

。

第部分软件测量标准旨在规定用于测量仪器软件校验的型和型软件测量标准

———71:。S1S2

标准具的术语定义

()。

第部分文件格式旨在规定用于存储和交换形貌及轮廓数据的文件格

———72:XMLx3p。XML

式

x3p。

第部分实物标准表面缺陷的术语和定义旨在界定和中规定

———73:。ISO5436-1ISO25178.70

的实物量具及校准样块表面上可呈现出的几何缺陷类别的定义定义对这些缺陷处理方法的

,

术语

。

第部分区域形貌测量方法的计量特性旨在规定用于表面形貌测量的区域法测量仪器

———600:。

的计量特性

。

第部分接触触针式仪器的标称特性旨在规定表面结构区域法接触触针式仪器的

———601:()。()

标称特性

。

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性旨在规定使用基于白光轴向色散

———602:()。

特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性旨在规定相移干涉法轮廓和区

———603:()。(PSI)

域表面结构测量显微镜的计量特性

。

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性旨在规定用于表面高度三维映射的

———604:()。

相干扫描干涉测量系统的计量特性

(CSI)。

Ⅳ

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性旨在规定使用点自动对焦探针测

———605:()。

量表面结构的非接触式仪器的计量特性

。

第部分非接触变焦式仪器的标称特性旨在规定使用变焦传感器测量表面结构

———606:()。(FV)

的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分区域形貌测量仪器的校准调整和验证旨在规定用于校准调整和验证

———700:、。、

中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的通用程序

ISO25178-600。

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准旨在规定区域法表面结构接触触针式

———701:()。()

仪器用作测量标准的实物量具的特性残余误差的评定方法校准验收和周期检定的检测

,,、

方法

。

Ⅴ

GB/T33523600—2025/ISO25178-6002019

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

():

区域法第600部分区域形貌测量

:

方法的计量特性

1范围

本文件规定了用于表面形貌测量的区域法测量仪器的计量特性由于表面轮廓能从表面形貌图像

。

中提取因此本文件中大多数术语也能应用于轮廓法测量

,。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31区域形貌测量方法

.

311

..

区域基准arealreference

仪器的一个组成部分它确定一个基准表面用于表面形貌测量

,。

312

..

仪器坐标系coordinatesystemoftheinstrument

xz坐标轴构成的右手定则直角坐标系其中

(,y,),:

z轴方向名义上平行于z扫描轴对于有z扫描的光学系统光轴对于非扫描光学系统或

———(),()

者触针轨迹对于触针或扫描探针仪器

();

x平面垂直于z轴

———(,y)。

注1见图

:1。

注2通常x轴是扫描轴轴是步进轴适用于在水平面内扫描的仪器

:,,y()。

注3亦可见规范坐标系和测量坐标系

:“”[ISO25178-2:2021,3.1.4]“”[ISO25178-6:2010,3.1.1]。

注4某些类型的光学仪器不具有实际的区域导向

:。

注5z轴有时被称为垂直轴x轴和轴有时被称为水平轴

:,y。

1