GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT33523.6032022ISO25178-6032013

产品几何技术规范()

GPS

表面结构区域法

:()

第603部分非接触相移干涉显微式

仪器的标称特性

()—:—

GeometricalroductsecificationsGPSSurfacetextureAreal

pp

:(

Part603Nominalcharacteristicsofnon-contacthase-shiftininterferometric

pg

)

microscoinstruments

py

(:,)

ISO25178-6032013IDT

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT33523.6032022ISO25178-6032013

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4影响量的描述……………11

()()………

附录资料性相移干涉显微镜的组件

APSI14

()()…………………

附录资料性相移干涉显微镜的工作原理

BPSI15

()()………………

附录资料性相移干涉显微镜的误差和修正

CPSI18

()……………

附录资料性与矩阵模型的关系

DGPS21

参考文献……………………22

Ⅰ

/—/:

GBT33523.6032022ISO25178-6032013

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《()》。/

本文件是产品几何技术规范表面结构区域法的第部分

GBT33523GPS