GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分：非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

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GBT33523.6042022ISO25178-6042013

产品几何技术规范()

GPS

表面结构区域法

:()

第604部分非接触相干扫描干涉式

仪器的标称特性

()—:—

GeometricalroductsecificationsGPSSurfacetextureAreal

pp

:(

Part604Nominalcharacteristicsofnon-contactcoherencescanning

)

interferometrinstruments

y

(:,)

ISO25178-6042013IDT

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT33523.6042022ISO25178-6042013

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义……………………1

与,轴扫描系统相关的术语和定义……………

3.2XY5

3.3与光学系统有关的术语和定义……………………7

3.4与工件光学特性有关的术语和定义………………8

3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义………9

4影响量的描述……………12

4.1总则…………………12

4.2影响量………………12

()()…………

附录资料性相干扫描干涉显微镜的概述和组件

ACSI14

()………………

附录资料性相干扫描干涉工作原理

B17

()……………

附录资料性空间分辨力

C24

()…………………

附录资料性表面形貌测量重复性评估过程示例

D28

()……………

附录资料性与矩阵模型的关系

EGPS29

参考文献……………………30

Ⅰ

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GBT33523.6042022ISO25178-6042013

前言