GB/T 46698-2025 电子级四氯化钛
GB/T 46698-2025 Electronic grade titanium tetrachloride
基本信息
本文件适用于电子级四氯化钛。该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化钛、特种光纤、特种合成石英等的制造。
发布历史
-
2025年10月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 武汉新硅科技潜江有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、上海市计量测试技术研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、中信钛业股份有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司
- 起草人：
- 李楷东、童祎、曹可慰、罗全安、史泽远、徐文涛、李春华、马瑞、李开华、常燕、李俊强、许伟春、张金宝、赵俊莎、王丽娟、陈萍、吴怡然、王炳、万烨、李建军、张宝帅、马昕、姜士兵、曹轲
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：23 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31.030
CCSL90
中华人民共和国国家标准
GB/T46698—2025
电子级四氯化钛
Electronicgradetitaniumtetrachloride
2025⁃10⁃31发布2026⁃05⁃01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
GB/T46698—2025
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
本文件起草单位：武汉新硅科技潜江有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、上海市
计量测试技术研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、中信
钛业股份有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、洛阳中硅高科技有限
公司、云南国钛金属股份有限公司。
本文件主要起草人：李楷东、童祎、曹可慰、罗全安、史泽远、徐文涛、李春华、马瑞、李开华、常燕、
李俊强、许伟春、张金宝、赵俊莎、王丽娟、陈萍、吴怡然、王炳、万烨、李建军、张宝帅、马昕、姜士兵、曹轲。
Ⅰ
GB/T46698—2025
电子级四氯化钛
1范围
本文件规定了电子级四氯化钛产品的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全警告等，描
述了对应的试验方法。
本文件适用于电子级四氯化钛。该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化
钛、特种光纤、特种合成石英等的制造。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于
本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T191包装储运图形符号标志
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T9722化学试剂气相色谱法通则
GB/T11446.1电子级水
GB12463危险货物运输包装通用技术条件
GB15258化学品安全标签编写规定
GB15603危险化学品仓库储存通则
GB/T16804气瓶警示标签
GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T32566不锈钢焊接气瓶
GB/T37837四级杆电感耦合等离子体质谱方法通则
SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
JJG700气相色谱仪检定规程
JJF1159四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
电子级四氯化钛的技术指标应符合表1要求。
1
定制服务
推荐标准
- GB/T 5275.2-2022 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第2部分：活塞泵 2022-12-30
- GB/T 5291.2-2022 电火花成形机床 精度检验 第2部分：双立柱机床(移动主轴头型) 2022-12-30
- GB/T 6113.402-2022 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-2部分：不确定度、统计学和限值建模 测量设备和设施的不确定度 2022-12-30
- GB/T 5568-2022 橡胶或塑料软管及软管组合件 无曲挠液压脉冲试验 2022-12-30
- GB/T 5686.7-2022 锰铁、锰硅合金、氮化锰铁和金属锰 硫含量的测定 红外线吸收法和燃烧中和滴定法 2022-12-30
- GB/T 5073-2022 耐火材料 压蠕变试验方法 2022-12-30
- GB/T 6434-2022 饲料中粗纤维的含量测定 2022-12-30
- GB/T 4570-2022 摩托车和轻便摩托车耐久性试验方法 2022-12-30
- GB/T 6104.2-2022 工业车辆 术语 第2部分：货叉和属具 2022-12-30
- GB/T 4966-2022 日用陶瓷材料抗张强度测定方法 2022-12-30