GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
GB/T 42276-2022 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.050 0 mg/g～0.600 mg/g。
发布历史
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位：
- 新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司
- 起草人：
- 银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT422762022
氮化硅粉体中氟离子和氯离子
含量的测定离子色谱法
—
Determinationoffluorineionandchlorideioninsiliconnitrideowder
p
Ionchromatorahmethod
gpy
2022-12-30发布2023-04-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT422762022
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.12020
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