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T/YGAZXH 13-2025 光伏电池工艺设备 原子层沉积镀膜设备技术规范

T/YGAZXH 13-2025 Photovoltaic cell process equipment and atomic layer deposition (ALD) coating equipment technical specifications

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/YGAZXH 13-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L 电子元器件与信息技术
国际标准分类号（ICS）
29.020 电气工程综合
发布日期
2025-07-16
实施日期
2025-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件给出了原子层沉积镀膜设备的工作环境和工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于生产隧穿氧化层钝化接触太阳能电池（TopCon、BC）等电池应用的原子层沉积镀膜设备的制造和检验

发布历史

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研制信息

起草单位：
拉普拉斯新能源科技股份有限公司、扬州大学、深圳大学、拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司、广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会、中标质检标准化技术（深圳）有限公司
起草人：
林佳继、张武、李勃、孟长乐、王芹芹、昌国栋、梁笑、陈思思、陈小丽、许金金
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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