T/YGAZXH 13-2025 光伏电池工艺设备 原子层沉积镀膜设备技术规范
T/YGAZXH 13-2025 Photovoltaic cell process equipment and atomic layer deposition (ALD) coating equipment technical specifications
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/YGAZXH 13-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-07-16
实施日期
2025-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件给出了原子层沉积镀膜设备的工作环境和工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于生产隧穿氧化层钝化接触太阳能电池（TopCon、BC）等电池应用的原子层沉积镀膜设备的制造和检验
发布历史
-
2025年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 拉普拉斯新能源科技股份有限公司、扬州大学、深圳大学、拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司、广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会、中标质检标准化技术（深圳）有限公司
- 起草人：
- 林佳继、张武、李勃、孟长乐、王芹芹、昌国栋、梁笑、陈思思、陈小丽、许金金
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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