GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛

ICS31030

CCSL.90

中华人民共和国国家标准

GB/T46178—2025

电子级四二甲氨基钛

()

Electronicradetetrakisdimethlamidetitanium

g(y)

2025-10-05发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46178—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位南大光电半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院苏州实验室江苏南

:、、、

大光电材料股份有限公司长江存储科技有限责任公司中芯国际集成电路制造北京有限公司苏州

、、()、

源展材料科技有限公司安徽亚格盛电子新材料股份有限公司全椒南大光电材料有限公司宁波南大

、、、

光电材料有限公司安徽博泰电子材料有限公司合肥安德科铭半导体科技有限公司南大光电乌兰察

、、、(

布有限公司南大光电淄博有限公司

)、()。

本文件主要起草人陈德义曹可慰茅炳荣徐文涛陆平史泽远孙明璐孙鹏陈鹏宇宣宗亮

:、、、、、、、、、、

张婷张健高周高朋鲁铮郭威赵俊莎吴怡然魏良杰毛国玉娄夏冰王小亮汪海燕何晓晨

、、、、、、、、、、、、、、

刘立伟张汝志孙丽丽曹益宁张宝帅马得森王博文彭元兵刘能巧孟庆典孙建李雪姚梦

、、、、、、、、、、、、、

华淑雅

。

Ⅰ

GB/T46178—2025

电子级四二甲氨基钛

()

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级四二甲氨基钛的技术要求检验规则包装标志及随货资料

()、、、、

运输贮存及安全信息的要求描述了相应的检测方法

、,。

本文件适用于沉积氮化钛氧化钛碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四二甲氨基钛

、、()。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

液体化工产品采样通则

GB/T6680

电子级水

GB/T11446.1

危险货物运输包装通用技术条件

GB12463

化学品安全标签编写规定

GB15258

危险化学品仓库储存通则

GB15603

化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T16483—2008

化学品安全技术说明书编写指南

GB/T17519—2013

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.11:

不锈钢焊接气瓶

GB/T32566

电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T11637

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

电子级四二甲氨基钛应符合表的规定

()1。

表1集成电路用电子级四二甲氨基钛技术指标要求

()

项目技术指标

四二甲氨基钛有机纯度

()(Assay)(Ti(NC2H6)4)/%≥99.5

铝含量

元素杂质含量(Al)/(μg/kg)≤1

锑含量

(Sb)/(μg/kg)≤1

1