YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
YS/T 1740-2025 Electron-grade trichlorosilane chemical vapor deposition evaluation method
行业标准-有色金属
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1740-2025
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2025-04-10
实施日期
2025-11-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。
发布历史
-
2025年04月
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研制信息
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内容描述
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