GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

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中华人民共和国国家标准

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氮化镓材料中镁含量的测定

二次离子质谱法

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２０２０１０１１发布２０２１０９０１实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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前言

本标准按照／—给出的规则起草。

ＧＢＴ１．１２００９

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（／）与全国半导体设备和材料标准

ＳＡＣＴＣ２０３

化技术委员会材料分技术委员会（／／）共同提出并归口。

ＳＡＣＴＣ２０３ＳＣ２

本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中

镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。

本标准主要起草人：马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何?坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、

倪青青。

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氮化镓材料中镁含量的测定

二次离子质谱法

１范围

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。

１４－３

，。

本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析测定范围为不小于５×１０ｃｍ

注：氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。

２规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

／半导体材料术语

ＧＢＴ１４２６４

／表面化学分析词汇

ＧＢＴ２２４６１

／分析仪器性能测定术语

ＧＢＴ３２２６７

３术语和定义

／、／和／界定的术语和定义适用于本文件。

ＧＢＴ１４２６４Ｇ