GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GB/T 34898-2017 Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
国家标准
中文简体
现行
页数：13页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
发布历史
-
2017年11月
研制信息
- 起草单位：
- 北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心
- 起草人：
- 李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31.200
L55
中华人民共和国国家标准
/—
GBT348982017
微机电系统()技术
MEMS
MEMS谐振敏感元件非线性
振动测试方法
—
MicroelectromechanicalsstemtechnoloTestmethodforthe
ygy
nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement
2017-11-01发布2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT348982017
目次
前言…………………………Ⅰ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4敏感元件非线性振动测试特性参数……………………1
5测试方法及其选用原则…………………2
5.1光学测试法…………………………2
5.2电学测试法…………………………2
6敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法…………………2
6.1光学测试方法………………………2
6.2电学测试方法………………………3
7敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法…………………
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