GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT348982017

微机电系统()技术

MEMS

MEMS谐振敏感元件非线性

振动测试方法

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MicroelectromechanicalsstemtechnoloTestmethodforthe

ygy

nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT348982017

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4敏感元件非线性振动测试特性参数……………………1

5测试方法及其选用原则…………………2

5.1光学测试法…………………………2

5.2电学测试法…………………………2

6敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法…………………2

6.1光学测试方法………………………2

6.2电学测试方法………………………3

7敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法…………………