T/CIE 117-2021 MEMS器件机械冲击试验方法

ICS31200

CCSL.55

团体标准

T/CIE117—2021

MEMS器件机械冲击试验方法

MechanicalshocktestmethodforMEMSdevice

2021-11-22发布2022-02-01实施

中国电子学会发布

中国标准出版社出版

T/CIE117—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

要求

4………………………1

大气环境条件

4.1………………………1

冲击试验设备

4.2………………………1

采集装置

4.3……………1

试验

5………………………2

试验准备

5.1……………2

试验条件

5.2……………2

机械冲击试验程序

5.3…………………3

检测和失效判据

6…………………………4

检测

6.1…………………4

失效判据

6.2……………4

附录资料性冲击试验设备

A()…………6

参考文献

………………………7

T/CIE117—2021

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国电子学会可靠性分会提出并归口

。

本文件起草单位工业和信息化部电子第五研究所东南大学中国科学院微电子研究所

:、、。

本文件主要起草人黄钦文来萍董显山苏伟朱军华恩云飞王磊焦斌斌

:、、、、、、、。

Ⅰ

T/CIE117—2021

引言

基于微机电系统技术所制备的器件在各个领域的应用快速增长同时实际应

(MEMS)MEMS,,,

用中发现机械冲击是器件失效的主要应力之一因此制定器件机械冲击试验方法变

,MEMS,,MEMS

得非常必要

。

器件具有微细的机械结构并且具有机电耦合特性其在机械冲击下的响应与传统电子元

MEMS,,

器件截然不同现有标准没有考虑到器件的这种特点因此现有标准中的机械冲击方法难以

。MEMS,,

覆盖器件在机械冲击环境下的各种应力状况需要依据器件的特点针对性地制定机械

MEMS,MEMS

冲击试验方法

。

Ⅱ

T/CIE117—2021

MEMS器件机械冲击试验方法

1范围

本文件规定了器件在不加电加电状态下的机械冲击试验方法的技术要求试验程序和检

MEMS、、

验评价规则等

。

本文件适用于器件的研制生产和产品鉴定验收等阶段目的在于评估器件在装

MEMS、,MEMS

卸运输和使用环境中由于瞬时受力或者运动状态突然发生变化而产生瞬间机械冲击时的抗冲击能

、,

力适用的机械冲击脉冲宽度范围为峰值加速度范围为gg

。0.05ms~30ms,5~30000。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T26111。

4要求

41大气环境条件

.

除另有规定外冲击试验应在下列规定的环境条件下进行

,:

电测环境温度要求+3其他试验环境温度要求

a):25-2℃,:(25±10)℃;

相对湿度

b):45%~75%;

大气压力

c):86kPa~106kPa。

42冲击试验设备

.

冲击试验设备应能按规定对器件本体施加gg峰值加速度的半正弦波冲击脉

MEMS5~30000()

冲其脉冲宽度为仅在实际工况有特殊需求时才考虑使用后峰锯齿波梯形波等其

,0.05ms~30ms(,、

他脉冲波形峰值加速度容差不大于规定的脉冲宽度的绝对偏差应不大于规定宽度的

),20%,±0.1ms

或取小值

±30%()。

冲击试验设备不论类型均应配套有可供调整XYZ和XYZ共个方向的夹具并需要

、、-、-、-6,

配有监测加速度的传感器或仪器截止频率为机械冲击基频脉冲的倍以上测量脉冲宽度应为波形

(5),

上升到峰值和下降到峰值的时间间隔

10%10%。

冲击试验设备可根据实际试验要求及条件选用附录中表推荐的试验设备

AA.1。

43采集装置

.

加电冲击试验时需采集器件的输出信号器件输出数据采集装置的模拟带宽应不小

,MEMS。

1