GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT401092021ISO175602014

表面化学分析二次离子质谱

硅中硼深度剖析方法

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SurfacechemicalanalsisSecondar-ionmasssectrometr

yypy

Methodfordethrofilinofboroninsilicon

ppg

(:,)

ISO175602014IDT

2021-05-21发布2021-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT401092021ISO175602014

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3符号和缩略语……………1

4原理………………………2

5参考物质…………………2

5.1用于校准相对灵敏度因子的参考物质……………2

5.2用于校准深度的参考物质…………2

6仪器………………………2

6.1二次离子质谱仪……………………2

6.2触针式轮廓仪………………………2

6.3光学干涉仪…………………………2

7样品………………………2

8步骤………………………2

8.1二次离子质谱仪的调整……………2

8.2优化二次离子质谱仪的设定………………………3

8.3进样…………………3

8.4检测离子……………3

8.5样品检测……………3

8.6校准…………………4

9结果表述…………………5

10测试报告…………………5

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附录资料性针式表面轮廓仪测试统计报告

A6

参考文献………………………8

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