19 试验
65 农业
77 冶金
  • T/CEPEA 0101-2024 电子专用设备用13.56 MHz射频电源通用技术规范 现行
    译:T/CEPEA 0101-2024 General Technical Specification for 13.56 MHz RF Power Supply Applied in Electronics Manufacturing Equipment
    适用范围:安全要求:规定电气安全、电磁兼容性、防护等级等方面的具体指标。 性能要求:设定频率范围、输出功率、负载适应性、稳定性和效率等关键参数。 环境适应性:明确工作温度、湿度、振动和冲击等环境条件下的性能要求。 测试方法:提供详细的测试项目、步骤,并根据技术要求的标准判断产品是否满足要求,确保测试结果的准确性和可比性
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.220.01机电元件综合 【中国标准分类号(CCS)】 :C35矫形外科、骨科器械
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2025-12-19 | 实施时间: 2026-01-01
  • T/EJCCCSE 534-2025 先进制程关键器件层刻蚀及表面处理超低损伤技术标准 现行
    译:T/EJCCCSE 534-2025 Advanced process key component layer etching and surface treatment ultra low damage technology standard
    适用范围:本文件规定了先进制程关键器件层刻蚀及表面处理超低损伤技术的术语和定义、不同类型层刻蚀损伤要求、表面处理损伤要求、检验方法及超低损伤控制。 本文件适用于半导体制造、微电子器件加工过程中使用化学、物理方法选择性去除器件特定材料层(3nm节点)的质量控制
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.080.99其他半导体分立器件 【中国标准分类号(CCS)】 :C35矫形外科、骨科器械
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2025-08-21 | 实施时间: 2025-09-20