适用范围：本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求

适用范围：本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈

适用范围：本文件规定了牛肉、羊肉中十八种磺胺类药物残留量的高效液相色谱-荧光测定方法。 本文件适用于牛肉、羊肉中十八种磺胺类药物残留量的测定

适用范围：本文件规定了无人系统态势感知、智能决策、自主规划、运动控制、效能评估和验证测试等活动的专用术语。 本文件适用于无人系统的研制、开发、测试、使用和维护过程中术语的统一与标准化。 本文件规定了无人系统态势感知、智能决策、自主规划、运动控制、效能评估和验证测试等活动的专用术语

适用范围：本标准规定了单传感器应用电视摄像机（以下简称摄像机)的通用技术要求和测量方法。本标准适用于单传感器应用电视摄像机，其他类似产品可参照执行。本标准不适用于广播用摄像机。

适用范围：本标准规定了应用电视摄像机云台(以下简称云台)的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于与应用电视摄像机配合使用的云台，不适用于球型摄像机所用云台。