适用范围：本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求

适用范围：本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈

适用范围：明确了垂直起降、固定翼、复合翼、分体式四类飞行汽车的定义，系统界定了飞行舱的整机性能、机体结构、机载系统、动力装置、任务载荷等核心技术参数与组成，涵盖控制站、数据链、发射与回收、使用与维护等飞行相关技术术语，同时规范了整车部分的基础通用、关键技术、系统部件及功能应用，分体式飞行汽车的对接系统与相关机制，以及运营所需基础设施和法规认证相关技术定义，为飞行汽车的研发、生产、运营及管理提供了全面统一的技术术语规范

适用范围：本文件规定了牛肉、羊肉中十八种磺胺类药物残留量的高效液相色谱-荧光测定方法。 本文件适用于牛肉、羊肉中十八种磺胺类药物残留量的测定

适用范围：本文件规定了无人系统态势感知、智能决策、自主规划、运动控制、效能评估和验证测试等活动的专用术语。 本文件适用于无人系统的研制、开发、测试、使用和维护过程中术语的统一与标准化。 本文件规定了无人系统态势感知、智能决策、自主规划、运动控制、效能评估和验证测试等活动的专用术语

适用范围：本文件描述了使用表面增强拉曼光谱测定汗液中葡萄糖浓度的方法。 本文件描述了使用表面增强拉曼光谱测定汗液中葡萄糖浓度的方法。 本文件适用于常规环境及深地环境中人体汗液葡萄糖浓度的定量检测