适用范围：本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求

适用范围：本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈

适用范围：本文件规定了生态环境年鉴编制的总体要求、内容框架、条目设立、行文规范、装帧设计等。 本文件适用于生态环境主管部门、直属单位及相关机构生态环境年鉴的编制及出版。 总体要求、内容框架、条目设立、行文规范、装帧设计等

适用范围：本文件界定了智慧实验室通用基础、基础设施、数据技术、运营管理及安全体系相关的术语和定义。 本文件界定了智慧实验室通用基础、基础设施、数据技术、运营管理及安全体系相关的术语和定义

适用范围：为响应国家实现碳达峰碳中和的目标，从高校层面出发，建立高校碳达峰碳中和实施路径，指导高校进行低碳建设的行动方案，制定低碳高校建设的指南。本指南将聚焦低碳高校建设中关键工作要点做出规范说明，包括低碳高校总体发展规划以及能源、资源、废物处理等专项规划的分析，重点进行低碳能源、资源、废物处理等专项内容的设计与建设分析，重点领域的低碳建设目标和路径分析，以及低碳高校建设重点领域行动方案的制定

适用范围：主要技术内容:本标准规定了社区治理智能化服务能力评价的总体要求、等级评定、评价流程。本标准适用于社区治理智能化服务能力评价和社区智能化建设及运维、运营服务能力评价

适用范围：主要技术内容:本文件描述了在oneM2M管理资源（Resource）和BBF TR-181i2[6]数据模型之间的协议映射

适用范围：主要技术内容:本规范定义协议绑定Mca和Mcc原语（消息流）至消息队列遥测传输（MQTT）协议。本规范内容如下：a)CSE或AE连接至消息队列遥测传输（MQTT）组件的方法；b)发起方（CSE或AE）制定请求作为消息队列遥测传输（MQTT）消息并传送至预定接收方的方法；c)接收方侦听进入请求的方法；d)接收方制定并传送响应的方法

适用范围：主要技术内容:本标准为oneM2M兼容系统、M2M应用和/或其他M2M系统制定了通信协议，同时为了支持oneM2M定义的参考点，本标准规定了其通用数据格式、接口和消息序列

适用范围：主要技术内容:本标准汇总了与oneM2M规范相关的专业技术术语、定义和缩略语。对与oneM2M文档相关的定义和缩略语进行汇总可以：——确保术语在所有oneM2M文档中的一致性使用；——为读者提供方便的用于跨多文档的技术术语参考。本标准为今后的oneM2M技术文档编制工作提供了工具，并有助于对其理解。本文中给出的术语、定义和缩略语既包括由外部创造并收录于此的，也包括在oneM2M内部只要有精确词汇需求被明确或从现有文档中被导入，由oneM2M TP或其工作组创造的。此外，在oneM2M技术规范和技术报告中也有专门用于其内部唯一定义和缩写的条款