GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

ICS17.040.30

CCSN51

中华人民共和国国家标准

/—

GBT449262024

纳米技术微区表面及亚表面表征

光学暗场共焦显微法

——

NanotechnoloiesCharacterizationofmicrosurfaceandsubsurface

g

Oticaldark-fieldconfocalmicrosco

ppy

2024-12-31发布2025-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT449262024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………2

5设备配置及测量条件……………………4

6测量步骤…………………4

7数据处理…………………5

8结果表征…………………6

9影响表征结果的因素……………………6

10测试报告…………………7

()……………………

附录规范性暗场散射共焦模块

A8

()………

附录资料性光学暗场共焦显微镜测量结果倾斜矫正方法

B9

()…………

附录资料性光学暗场共焦显微镜亚表面测量介质校正系数计算方法

C11

()……………

附录资料性钕玻璃光学暗场共焦显微测量结果示例

D13

()………

附录资料性亚表面台阶高度测量结果示例

E15

参考文献……………………16

Ⅰ

/—

GBT449262024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国科学院提出。

(/)。

本文件由全国纳米技术标准化技术委员会SACTC279归口

:、、、、

本标准起草单位哈尔滨工业大学中国计量科学研究院昆明物理研究所西安应用光学研究所

、。

北京微电子技术研究所航天科工防御技术研究试验中心

:、、、、、、、。

本标准主要起草人刘俭施玉书刘辰光张树胡旭张云龙李冬梅冯慧

Ⅲ

/—

GBT449262024

引言

。

微纳器件及高端光学元件的表面及亚表面质量控制是产品性能和使用寿命的重要影响因素对微

,、

区表面及亚表面微米及纳米尺度特征结构进行有效表征是提升微纳加工及超精密加工机理探索工艺

,、、

定型和量产质控能力的重要保障在超光滑光学元件微光学器件半导体材料等领域具有广泛应用

需求。

,

光学暗场共焦显微镜能够实现对样品微区表面和亚表面微弱暗场散射信号的三维高效探测本文

件的制定为使用光学暗场共焦显微镜表征光学透明固体材料的表面及亚表面特征结构提供了规范统一

,,

的方法有利于提升高性能器件的检测水平为精密光学元件及微纳器件加工生产质控及新工艺研发提

供检测保障。

Ⅳ

/—

GBT449262024

纳米技术微区表面及亚表面表征

光学暗场共焦显微法

1范围

本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。

本文件适用于固体材料。

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/—产品几何技术规范()光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定

GBT348792017GPS

导则

3术语和定义

/—界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT348792017

3.1

亚表面subsurface

固体材料表面以下具有光学透明度的区域。

:。

注通常深度在百微米以内

3.2

共焦显微术;

confocalmicroscoCM

py

,,

采用约束性照明和约束性探测借助轴向扫描获得光学层析图像并通过提取轴向最大信号位置确

定区域样品表面形状的测量方法。

[:/—,]

来源GBT3487920173.1

3.3

光学暗场共焦显微镜;

oticaldark-fieldconfocalmicroscoeODCM

pp

,,

基于共焦显微术原理采用环形光场约束性照明和孔径匹配约束性探测获取样品表面及亚表面区

,。

域暗场散射信号并借助轴向扫描获得样品三维层析图像的光学仪器

3.4

轴向包络axialenveloe

p

所记录的探测信号对应于共焦层析图像中单一像点轴向位置变化的函数。

[:/—,]

来源GBT3487920173.8

3.5

环形光孔径比ratioofannularaerture

p

物镜入瞳处测得的环形照明光束横截面的内径与外径的比值。

1