GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

GB/T 37053-2018 General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

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基本信息

标准号

GB/T 37053-2018

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H83 化合物半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2018-12-28

实施日期

2019-07-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。

发布历史

2018年12月

GB/T 37053-2018　氮化镓外延片及衬底片通用规范

当前标准现行 2018-12-28

文前页预览

研制信息

起草单位：: 东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院

起草人：: 丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义

出版信息：: 页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS29.045

H83

中华人民共和国国家标准

/—

GBT370532018

氮化镓外延片及衬底片通用规范

Generalsecificationforeitaxialwafersand

substratesbasedonalliumnitride

2018-12-28发布2019-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT370532018

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体

定制服务

关联标准

现行

GB/T 14264-2009 半导体材料术语

被代替

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